六寸手动探针台半导体电性能测试，规格描述
●探针台载物台平整度：5μm
●探针台右侧标配显微镜升降机构，可以抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物
●6英寸载物盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔径250μm-1mm
●卡盘可0-360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，标配角度锁定旋钮
●旋钮可以控制载物盘X-Y方向的移动，移动范围为150mm，移动为1μm
●载物台具备快速导入导出功能，便于上下料
●载物台up/down功能（选项）
●可以搭配金相高倍显微镜或体式显微镜，显微镜X-Y-Z移动范围1英寸，移动1um
●可以搭配4颗探针座，进行DC或者高频测试
可选附件
●射频测试探头及电缆
●有源探头
●低电流/电容测试
●高压模块
●激光修复
●高清数字相机
●探针卡/封装/PCB板夹具
●Hot Chuck
●防震桌
●屏蔽箱
兼容测试仪器
●各种型号示波器
●各种品牌型号的源表
●安捷伦B1500、安捷伦4155、安捷伦4156
●Keithley 4200
●各品牌的网络分析仪
应用领域
●Failure analysis 集成电路失效分析
●Wafer level reliability晶元可靠性
●Device characterization 元器件特性量测
●Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)
●IC Process monitoring 制成监控
●Package part probing IC封装阶段打线品质测试
●Flat panel probing 液晶面板的特性测试
●PC board probing PC主板的电性测试
●ESD&TDR testing ESD和TDR测试
●Microwave probing 微波量测(高频)
●Solar太阳能领域检测分析
●LED、OLED、LCD领域检测分析机台总述
●重量：30kg（含显微镜）
●尺寸：500mm宽*600mm长*700mm高（含显微镜）
●动力需求：电源220V/15A；4~6KG压缩空气