探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
仪准探针台分类
探针台从操作上来区分有:手动探针台、半自动探针台和全自动探针台。
从功能上来区分有:温控探针台、真空探针台(超低温探针台)、RF探针台、LCD平板探针台、霍尔效应探针台和表面电阻率探针台。
仪准经济手动型探针台
可根据客户需求定制
chuck尺寸:4"*4" 或6"*6" 或8"*8" 或12"*12" (可选)
X-Y移动行程:4"*4"或 6"*6"或 8"*8"或 12"*12"(可选)
chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离
显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)
显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
探针座:有0.7um、2um、10um可选,磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域:晶圆厂、研究所、高校等
Failure analysis 集成电路失效分析
Wafer level reliability晶元可靠性
Device characterization 元器件特性量测
Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)
IC Process monitoring 制成监控
Package part probing IC封装阶段打线品质测试
Flat panel probing 液晶面板的特性测试
PC board probing PC主板的电性测试
ESD&TDR testing ESD和TDR测试
Microwave probing 微波量测(高频)
Solar太阳能领域检测分析
LED、OLED、LCD领域检测分析
2,LCD手动探针台
白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
机台尺寸(mm):800乘600、500乘400、300乘300
3、电动型探针台
chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)
X,Y电动移动行程300mm 乘 300mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8~12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质:花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品